Патент РФ на изобретение № 2630032

Институт получил новый патент РФ

Получен патент РФ на полезную модель "Оптическое термометрическое устройство на полимерный̆ основе" № 163672 приоритет от 29.02.2016.

Предложен и реализован новый способ изготовления оптического термометрического устройства на полимерной матрице путем формирования на ней дифракционных периодических микроструктур методом низкоэнергетической высокодозовой имплантацией ионами металла через поверхностную маску. В результате применения ионной имплантации, на поверхности полимера получены тонкопленочные дифракционные решетки с периодически изменяемым комплексным показателем преломления, который обеспечивается областями, содержащими ионно-синтезированные металлические наночастицы. Измерение температуры данным устройством осуществляется регистрацией бесконтактным методом изменения дифракции Фраунгофера от зондирующего светового пучка вследствие теплового расширения или сжатия полимера.

Подобные устройства находят свое применение для температурного мониторинга и контроля в вакуумных технологических процессах микроэлектроники (осаждение тонких пленок, травление микроструктур, и т.п.), взаимодействия газоразрядной плазмы и пучков заряженных частиц, для измерения температуры в сложных условиях (высокие электрические потенциалы, электромагнитные помехи, фоновое неравновесное излучение, при работе в агрессивных средах и т.д.). Работа выполнена на ионном ускорителе  ИЛУ-3.

Авторы патента: Степанов А.Л. (в.н.с. Группа Нанооптики и наноплазмоники), Нуждин В.И. (с.н.с. Лаб. радиационной физики), Валеев В.Ф.(н.с. Лаб. радиационной физики), Галяутдинов М.Ф. (с.н.с. Лаб. квантовой оптики и информатики).

Поздравляем авторов!

Патент РФ №163672

Схема функционирования термометрического устройства, демонстрирующая принцип измерения температуры T по контролю углового перераспределения дифракционных максимумов Δφ на экране, возникающее при изменение геометрических размеров решетки в процессе ее нагрева или охлаждения.