Впервые созданы монокристаллические сильнолегированные донорной примесью (сурьма) слои германия с использованием непрерывной ионной имплантации и последующего импульсного отжига мощными ионными пучками (протоны, углерод) наносекундной длительности. За счет равномерного по глубине выделения энергии мощных ионных пучков происходит глубокое плавление и быстрая ориентированная кристаллизация от монокристаллической подложки германия. Показано, что импульсный ионный отжиг приводит к созданию глубоких (до 0.3 мкм) сильнолегированных слоев германия с высокой электропроводностью и концентрацией электронов проводимости до 3^.10²⁰ см^-3, что более, чем на порядок величины превышает равновесный предел растворимости сурьмы в германии. Исследование излучательных свойств сильнолегированных слоев германия при комнатной температуре показало возникновение прямозонной люминесценции с максимумом при 0.77 эВ (1.6 мкм) при сохранении сигнала при 0.69 эВ, обусловленного непрямозонной люминесценцией от германиевой подложки (Рис. 1). Полученный сигнал соответствует области длин волн оптоволоконных каналов связи.

Публикации:
Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Г.А. Новиков, В.А. Шустов, Н.М. Лядов, А.В. Новиков, П.А. Бушуйкин, Н.А. Байдакова, М.Н. Дроздов, П.А. Юнин. Импульсный ионный отжиг германия, имплантированного ионами сурьмы // Автометрия, Т.55, №5, с. 5-13 (2019).