Инновации Доп. раздел |
Патент РФ на изобретение №2737692"Способ изготовления подложки монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия" |
Инновации Доп. раздел |
Патент РФ на изобретение №2737692"Способ изготовления подложки монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия" |