Конференции, проводимые по тематике КФТИ КазНЦ РАН

13 - 17 сентября 2021/ Объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике"

г. Черноголовка, Московская обл., ул. Академика Осипьяна д. 6, ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН). Сайт конференции: http://purple.iptm.ru/cebt/

Важные даты:   До 30 апреля 2021г. - прислать аннотацию. До 1 июля 2021г. - прислать тезисы для сборника.   13-17 сентября 2021г. - работа конференции.

Участники конференции от оплаты оргвзноса освобождаются.

Организаторы:

• ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
• АО "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (НИИМЭ)

Секции

1. Диагностика полупроводниковых материалов и структур
2. Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
3. Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
4. Электронно- лучевая и ионная литографии
5. Электронно- лучевые технологии в микроэлектронике
6. Рентгеновская кристаллооптика
7. Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
8. Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
9. Рентгеновская микроскопия и томография
10. Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении

Условия участия

Для участия в Конференции необходимо заполнить регистрационную форму и прислать написанную в произвольной форме аннотацию объёмом 0,5 стр. для отбора докладов программным комитетом до 30 апреля 2021 г., загрузив её со страниц «Тезисы» или «Регистрация».

Авторам отобранных докладов будет предоставлена возможность написать расширенные тезисы в сборник, который будет издан к началу работы конференции. Текст объёмом 1-3 стр. формата А4 должен быть подготовлен в строгом соответствии с правилами и загружен не позднее 1 июля 2021 г.

Опоздавшие тезисы в сборник трудов конференции не войдут.

Планируется публикация работ, представленных на конференции в журналах «Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования», «Микроэлектроника».